應用范圍:OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索,此套系統極為理想。
產品型號 :OTF-1200X-50S-PE
上架時間 :2019-07-03
安裝尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
重量 :160 lbs
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索,此套系統極為理想。
性能指標和基本配置 | |
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開啟式管式爐 |
● 輸入電源:208 – 240V AC, 1.2kW |
等離子體射頻電源 |
● 輸出功率: 5 -500W可調 |
真空法蘭和接頭 |
● 真空法蘭采用304不銹鋼制作 |
真空泵 |
● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W |
產品尺寸和重量 |
外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) |
可選配置 | |
混氣系統 |
● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 |
開門斷電 | |
應用注意事項 |
●爐管內氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度<1100℃ ●對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
質量認證 | |
保修期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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