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OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng)，且設(shè)備性價(jià)比較為理想。

產(chǎn)品型號(hào)：

上架時(shí)間：2020-12-09

安裝尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

重量：160 kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng)，且設(shè)備性價(jià)比較為理想。

性能指標(biāo)和基本配置

設(shè)備名稱

小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；
● 可通過爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫；
● 可通過射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力；
● 可通過工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量；
● 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。

加熱爐參數(shù)

● 最高溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；
● PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；
● 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；
● 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

射頻電源

● 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

真空系統(tǒng)

● 采用TRP-12的雙旋真空泵；
● KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
● 真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)

● 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；
● 流量范圍:

一路	0-100 sccm
二路	0-200 sccm
三路	0-200 sccm
四路	0-500 sccm

● 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
● 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；
● 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；
● PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量

● 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H
● 凈重：160 kg
● 運(yùn)輸重量：220 kg

認(rèn)證

● CE認(rèn)證
● 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證
● 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

承諾

● 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)
● 特別提示：（1）耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)；
（2）因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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