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微型PECVD系統

應用范圍：這款小型PECVD，其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體，而且加熱圈在石英腔體內部對樣品進行加熱，此系統配有2通道混氣系統和雙旋機械泵。整套儀器都按放在一個移動架上，以便于實驗操作。等離子腔體內部的最高溫度可以達到400℃，采用程序化控溫。此款小型廉價的PECVD系統對于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。

上架時間：2019-07-05

安裝尺寸：等離子源： 8.5" H x 10" W x 8" D

溫控盒： 4"H x 10"W x 8"D

移動架：600 x 600 x 600mm

重量：70 lb (包含真空泵)

A^-A⁺

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這款小型PECVD，其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體，而且加熱圈在石英腔體內部對樣品進行加熱，此系統配有2通道混氣系統和雙旋機械泵。整套儀器都按放在一個移動架上，以便于實驗操作。等離子腔體內部的最高溫度可以達到400℃，采用程序化控溫。此款小型廉價的PECVD系統對于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。

性能指標和基本配置
等離子源	● 等離子體射頻電源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W ● 輸出頻率： 13.56 MHz ● 三檔射頻功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可調節） ● 腔體尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L ● 儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內部的真空度為10^-2 torr（用機械泵）
滑動法蘭	● 有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出。 ● 樣品可以放入加熱線圈內，以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
加熱圈和溫控系統	● 加熱圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使樣品達到的溫度為400℃ ● 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以減小熱量損失 ● 溫控方面:采用PID方式調節溫度，同時可設置30段升降溫程序，控溫精度為： +/-1oC，輸入電源： AC 220V
兩通道混氣系統	● 混氣箱上安裝有兩個浮子流量計，其量程為10-100SCCM ● 三個機械壓力表：-0.1-0.15 MPa, ● 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥 ● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管 ● 混氣箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). ● 凈重: 14 lbs.
真空和氣體接口	標準的真空配置有： ● 一套3"的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥） ● 一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍 ● 一個數字式真空顯示計 ● 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2, Ar, Air ，以及各種混合性氣體。 ● 可以調整腔體內的壓力或是進氣流量，確保等離子體達到樣品處（注意：不可通入易燃易爆性氣體）
真空泵	● 儀器中配有一雙旋機械真空泵，其抽氣速率為120L/min。 ● 進氣口為KF25接口，可以使腔體內真空度小于30mTorr
移動架	設備中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移動架，整個CVD系統可以安置于其上面
儀器尺寸	● 等離子源： 8.5" H x 10" W x 8" D ● 溫控盒： 4"H x 10"W x 8"D ● 移動架：600 x 600 x 600mm
重量	70 lb (包含真空泵)
質量認證	CE Certified
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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