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OTF-1500X-III-4CV-PE-SL 三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，它是由500W的射頻電源，1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實(shí)驗(yàn)幫手。

產(chǎn)品型號：OTF-1500X-III-4CV-PE-SL

上架時間：2019-07-05

安裝尺寸：爐體：550 x 380 x 520 mm

爐體下端移動柜：1800×600×600mm

重量：220 Lbs.

A^-A⁺

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OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)，它是由500W的射頻電源，1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實(shí)驗(yàn)幫手。

性能指標(biāo)和基本配置
三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐	● 最高工作溫度1500℃ ● 連續(xù)使用溫度1400℃ ● 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制，都可設(shè)置30段升降溫程序 ● 每個溫區(qū)長度為200mm ● 總溫區(qū)長度為600mm ● 爐管為高純剛玉管 ● 爐管尺寸：（標(biāo)配）60 O.D x 53 I.D x 1500mm L ● 爐管尺寸：（選配）80 O.D x 73 I.D x 1500mm L ● 輸入電源： 208 – 240V AC，單相 ● 最大功率：6.6KW ● 配有一對不銹鋼真空密封法蘭，法蘭上帶有石英觀察窗口 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
射頻電源	● 輸出功率: 5 -500W ± 1% . ● 射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% . ● 反射功率:最大 200W ● 匹配:自動 ● 射頻接口: 50 Ω, N-type ● 噪音: <50 dB. ● 冷卻:風(fēng)冷. ● 電源: AC 208-240V, 50/60Hz
防腐型真空計	● 輸入電源：24V，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器） ● 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr. ● 數(shù)據(jù)顯示：數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr ● 接頭：1/8"NPT 接頭 ● 產(chǎn)品尺寸：46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
真空系統(tǒng)	● 采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr ● KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連. ● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)	● 四個精密的質(zhì)量流量計(精度1.5% ) ：數(shù)字顯示，自動控制. ● MFC 1范圍: 0~100 sccm ● MFC 2和3: 0~200 sccm ● MFC 4范圍: 0~500 sccm ● 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. ● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體. ● 進(jìn)氣口: 4個1/4NPS. ● 出氣口: 4個 1/4NPS. ● 采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進(jìn)行控制
溫控系統(tǒng)	● 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制 ● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 ● 帶有超溫和斷偶保護(hù) ● 控溫精度：+/- 1 oC 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦
外型尺寸	● 爐體：550 x 380 x 520 mm ● 爐體下端移動柜：1800×600×600mm
重量	凈重：220 Lbs. 運(yùn)輸重量：1200lbs
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證，如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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