● 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞。
● 可以通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果。
● 爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個溫區(qū)最大溫差為400℃。
● 管式爐最高工作溫度為1100℃。
● 帶有預(yù)熱爐，最高溫度為1100℃，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

● 連續(xù)工作最高溫度為1100℃
● 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料）
● 兩個溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個溫區(qū)，都可設(shè)置30段升降溫程序
● 每個溫區(qū)長度為200mm
● 總溫區(qū)長度：400mm
● 兩個溫區(qū)最大溫差為：400℃
● 爐管材料：高純石英管
● 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
● 所需電源: 208 – 240V AC單相
● 最大功率： 4KW

●  輸出功率: 5 -500W可調(diào)
● 穩(wěn)定性為：+/-1%
● 射頻電源頻率：13.56 MH, 穩(wěn)定性±0.005%
● 最大反向功率: 200W
● 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體, 陰極
● 噪音:<50 dB.
● 冷卻方式：空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz

● 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm
● 最高溫度:  1100oC
● 可設(shè)置30段升降溫程序
● 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預(yù)熱爐
● 也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

● 測量范圍3.8x10-5 至 1125 Torr
● 當(dāng)氣壓在10mbar以上時，可獨(dú)立測量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）
● 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性
● 信號響應(yīng)時間較短（≤30ms)
● 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇蟹栏繉?，所以具有較好的抗腐蝕性

● 可以從本公司選購以下幾種真空泵
● 如您想獲得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可選國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
● 配有擋板閥波紋管和卡箍等真空配件

可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果 滑動速度：0-70 mm/s（可調(diào)）

● RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用在本公司購買）
● 為了獲得最大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置

可以選購2-4通道質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)（精度1.5%）

●  爐體: 550 x 380 x 520  mm
●  滑軌長度：1750 mm

220 Lbs.

●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
●石英管的長時間使用溫度＜1100℃
●對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

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