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OTF-1200X-III-HVC 1200°C三溫區二通道混氣高真空CVD系統

應用范圍：OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三溫區管式爐，二路質子混氣系統和高真空機組組成。其最高工作溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部。

產品型號：OTF-1200X-III-HVC

上架時間：2019-07-03

安裝尺寸：1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

A^-A⁺

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OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三溫區管式爐，二路質子混氣系統和高真空機組組成。其最高工作溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部。

性能指標和基本配置
OTF-1200X-III管式爐	殼體結構	● 雙層殼體結構，便帶有風冷系統，使得殼體表面溫度小于55度 ● 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
	爐管	● 材質: 高純石英管 ● 石英管包含在內. 可以選擇其他管徑
	管堵放置位置
	功率	7KW
	額定電壓	AC 208-240V 單相50/60Hz
	加熱元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，最大程度的延長加熱元件的使用壽命）
	工作溫度	● 最高工作溫度：1200℃ ● 連續工作溫度：1100℃
	升溫速率	升溫速率： 1~20℃/min 可編程
	加熱區長度	總加熱區：900mm (300mm + 300mm + 300mm)
	控溫系統	● 三個精密溫度控制器分別控制三個溫區 ● PID自動控制方式，可設置30段升降溫程序 ● 控溫精度: ±1°C ● 熱電偶：采用K型熱電偶進行測溫
	真空密封	● 一對不銹鋼真空密封法蘭，已經安裝 ● 法蘭上已經安裝機械壓力表 ● 一對精密針閥 ● KF-40 的抽氣接口
	尺寸	1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
高真空機組	結構	● 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 最大承重: 600 Lbs ● 分子泵顯示屏： LCD 數字顯示 ● 殼體內安裝有有一臺德國制造分子泵
	抽氣速率	● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s
	工作范圍	From 1000 mbar to<1E-7 mbar
	極限	<1E-8 mbar (無泄漏)
	電壓&功率	110VAC~ 220VAC, 110W
質量流量控制器	殼體結構	● 2~9通道氣體采用PLC觸摸屏控制和PC操作軟件 ● LED 顯示 4通道MFC采用316不銹鋼制作，氣體流量如下： ● 通道1: 0~100SCCM ● 通道 2: 1~199 SCCM ● 通道 3: 1~199 SCCM ● 通道4: 1~499 SCCM ●4個通道的氣體經過氣體混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
	功率	18W
	額定電壓	AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
開門斷電	● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計
應用注意事項	●爐管內氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質量認證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證/ CE認證,若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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