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OTF-1200X-S-II-4CV-PE 1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強(qiáng)混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由一300W射頻電源（帶自動(dòng)匹配功能）、上游蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)以及性能優(yōu)異的真空泵組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理以及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等）。

產(chǎn)品型號(hào) ：OTF-1200X-S-II-4CV-PE

上架時(shí)間：2019-07-04

安裝尺寸：2700mm L x 600mm W x 1250mm H

重量：90kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強(qiáng)混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由一300W射頻電源（帶自動(dòng)匹配功能）、上游蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)以及性能優(yōu)異的真空泵組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理以及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等）。

性能指標(biāo)和基本配置
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)	● 爐體可在0 ~ 30°內(nèi)傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出 ● 300W射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度 ● 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性 ● 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控 ● 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對(duì)前驅(qū)體進(jìn)行蒸發(fā)用于后續(xù)的混合物理化學(xué)氣相沉積階段
雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐	● 最高溫度：1100oC(< 1h) 連續(xù)工作溫度：< 1000℃ ● 兩個(gè)PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng) ● 輸入功率：208-240V，單相，功率：1.5KW ● 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗 ● 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm ● 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管
等離子射頻電源	● 輸出功率：0-300W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） ● 射頻頻率：13.56MHz(穩(wěn)定性：±0.005%) ● 最大反射功率：100W ● 匹配：自動(dòng)匹配 ● 射頻輸出端口：50Ω、N型 ● 噪音：＜50dB ● 冷卻: 空氣冷卻 ● 電源: 110 -240VAC, 50/60Hz
蒸發(fā)舟	● 0.7mL氧化鋁坩堝（由鎢絲加熱圈包圍） ● S型熱電偶插入坩堝中實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)物料的精確測(cè)溫 ● 最高溫度可達(dá)1100℃，長期使用溫度達(dá)1000℃
石英管	● 高純異形石英管 ● 尺寸：兩端：25 mm OD x 22 mm ID；中間：50mm O.D x 44mm I.D x 190mm L
密封法蘭	● 一對(duì)不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭） ● 磁流體密封旋轉(zhuǎn)接頭安裝在兩端保證旋轉(zhuǎn)過程中進(jìn)氣管和其它附件的正常使用，避免卷繞
旋轉(zhuǎn)速度	0-5rpm可調(diào)
爐體可傾斜角度	0~30°
真空泵	● 雙級(jí)真空泵包含在設(shè)備中 ● KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵
4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)	4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）流量范圍: ● 一路: 0~100 SCCM ● 二路: 0~200 SCCM ● 三路: 1~200 SCCM ● 四路: 1~500 SCCM ● 電壓：208-240V AC 50/60Hz 氣體進(jìn)出口配件： ●6 mmOD的聚四氟管或不銹鋼管 ● 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出 ● PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置
溫度控制	● 2個(gè)溫區(qū)分別由2個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 ● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 ● 采用K型熱偶，控溫精度+/- 1℃ ● RS485通信端口。
容積式進(jìn)料器（可選）	EQ-PF-1S是一款容積式自動(dòng)喂料器，包含一電動(dòng)攪拌器以及帶有振動(dòng)裝置的不銹鋼料斗。可實(shí)現(xiàn)固體粉料的自動(dòng)化喂料，從而實(shí)現(xiàn)固態(tài)粉料的連續(xù)式燒結(jié)/熱處理
尺寸和重量	● 2700mm L x 600mm W x 1250mm H ● 凈重：90kg ● 運(yùn)輸重量:136kg
應(yīng)用注意事項(xiàng)	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證，如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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