RTP-1000-F3LV 快速升溫CVD系統
應用范圍：快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV是專為半導體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火而設計，配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱，最快升溫速度可達 100℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。
產品型號：RTP-1000-F3LV
上架時間：2020-04-16
爐體尺寸：760mm×330mm×530mm
爐體重量：45kg
產品簡述
產品詳情
產品視頻
留言咨詢
快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV是專為半導體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火而設計，配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱，最快升溫速度可達 100℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。
| 功能特點 |
|---|
- 雙層Al2O3纖維鋼構，無需水冷或風冷。
- 內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。
- PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序，并設有過熱保護和斷偶功能。
- 已通過CE認證。
| 技術參數 | |
|---|---|
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 不需要 |
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 |
| 氣 | 設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 |
| 工作臺 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 |
| 通風裝置 | 需要 |
| 電源 | 單相208V-240V AC 50/60Hz 9KW |
| 石英管 | 外徑?110mm，內徑?103mm，長380mm |
| 加熱元件 | 紅外燈管，直徑?10mm，長300mm |
| 加熱區 | 300mm |
| 工作溫度 | 最高溫度1100℃ |
| 控溫精度 | ±0.5℃ |
| 最高升溫速度 | RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s |
| 溫控儀 | 可控硅（SCR）PID自動控制 |
| 真空法蘭 | 不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷，循環水流量為0.5m3/hr |
| 真空度 | 10-3torr |
| 流量計 | 3個，量程40cc/min-400cc/min，精度4%FS |
| 爐體尺寸 | 760mm×330mm×530mm |
| 爐體重量 | 45kg |
| 真空混氣系統尺寸 | 600mm×600mm×597mm |
| 真空混氣系統重量 | 30kg |
| 可選配件 | 防腐型數字式真空顯示計 |
暫無內容
暫無內容
留言咨詢
* 產品型號：
不能為空
* 產品名稱：
不能為空
* 訪客姓名：
不能為空
* 訪客手機：
手機號格式不對
* 訪客 QQ：
必須是數字
* 電子郵箱：
E-mail格式不對
* 詳細地址：
不能為空
* 留言內容：
不能為空
免責聲明：本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等），僅供參考。可能由于更新不及時，或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，科晶公司不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知。
- 上一篇：開啟式單溫區低真空CVD系統
- 下一篇：蒸發鍍膜儀
嗶哩嗶哩
抖音
材料商城
手機淘寶
深圳科晶001
許凌鵬企業微信
呂志紅企業微信
劉霞企業微信
林婷婷企業微信
深圳科晶002
廖經理企業微信
韋香竹企業微信
黃萍萍企業微信
樊雙妃企業微信
陳燕芬企業微信
深圳科晶003
陳亞楠企業微信
官錫紅企業微信
許美燕企業微信
深圳科晶004
黃經理企業微信
殷菲憶企業微信
江娟企業微信
深圳科晶005
徐瓊宇企業微信
何佳恒企業微信
成丹企業微信
劉工企業微信
秦工企業微信
楊工企業微信
羅工企業微信
楊工企業微信
宋工企業微信
關注官方微信
小程序商城
微信付款
支付寶付款
