OTF-1200X-F3LV 開啟式單溫區低真空CVD系統
應用范圍：開啟式單溫區低真空CVD系統OTF-1200X-F3LV是由開啟式單溫區管式爐、機械泵、三通道浮子混氣系統組成，可為CVD或擴散實驗提供1-3種的混合氣體，真空度可達10-2torr。
產品型號：OTF-1200X-F3LV
上架時間：2020-04-16
重量：60kg
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開啟式單溫區低真空CVD系統OTF-1200X-F3LV是由開啟式單溫區管式爐、機械泵、三通道浮子混氣系統組成，可為CVD或擴散實驗提供1-3種的混合氣體，真空度可達10-2torr。
| 功能特點 |
|---|
- 雙層殼體，配有循環風冷系統，殼體溫度<60℃。
- 內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。
- 采用PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序。
- 設有超溫及斷偶報警功能。
- 已通過CE認證。
| 技術參數 | |
|---|---|
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 不需要。 |
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 |
| 氣 | 設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 |
| 工作臺 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 |
| 通風裝置 | 需要 |
| 電源 | AC 220V 50/60Hz 2.5KW |
| 石英管 | 外徑?80mm，內徑?75mm，長1000mm |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 |
| 加熱區域 | 440mm |
| 恒溫區域 | 150mm |
| 工作溫度 | 最高1200℃，連續工作1100℃ |
| 最大升降溫速率 | 20℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 真空度 | 5.5×10-3torr（機械泵），10-4torr（分子泵） |
| 泄漏率 | <5mtorr/min |
| 浮子流量計 | 3個；10ml/min-100ml/min，16ml/min-160ml/min，25ml/min-250ml/min |
| 壓力表 | 4個 |
| 管式爐尺寸 | 550mm×380mm×520mm |
| 混氣系統尺寸 | 600mm×600mm×597mm |
| 重量 | 60kg |
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