OTF-1200X-4-RTP-C3HV 高真空快速CVD系統
應用范圍：高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統和高真空機組組成，可進行半導體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進行加熱，最快升溫速度可達 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。
產品型號：OTF-1200X-4-RTP-C3HV
上架時間：2020-04-16
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高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統和高真空機組組成，可進行半導體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進行加熱，最快升溫速度可達 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。
| 功能特點 |
|---|
- 雙層Al2O3纖維鋼構，無需水冷或風冷。
- 內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。
- PID控制器，可以設置30段升降溫程序，并設有過熱保護和斷偶功能。
- 已通過CE認證。
| 技術參數 | |
|---|---|
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 不需要。 |
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 |
| 氣 | 設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 |
| 工作臺 | 尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 |
| 通風裝置 | 需要 |
| 電源 | 單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW |
| 石英管 | 外徑?110mm，內徑?103mm，長380mm |
| 加熱元件 | 8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈?10mm，燈長300mm |
| 加熱區 | 300mm |
| 工作溫度 | 最高溫度1100℃ |
| 控溫精度 | ±0.5℃ |
| 最高升溫速度 | RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s |
| 溫控儀 | 可控硅（SCR）PID自動控制 |
| 溫控儀 | 可控硅（SCR）PID自動控制 |
| 真空法蘭 | 不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷，循環水流量為0.5m3/hr |
| 真空度 | 10-2torr（機械泵），10-5torr（分子泵） |
| 質量流量計 | 3個，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS |
| 混氣罐 | ?80mm×120mm |
| 爐體尺寸 | 760mm×330mm×530mm |
| 爐體重量 | 45kg |
| 真空混氣系統尺寸 | 600mm×600mm×597mm |
| 真空混氣系統重量 | 75kg |
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