應用范圍:GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀主要應用于大專院校、科研機構、企業實驗室及微小產品進行真空鍍膜等真空處理的工藝研究、樣板試制、操作培訓和生產。
產品型號:GSL-1800X-ZF2
上架時間:2020-04-16
功能特點 |
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技術參數 | |
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安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 |
水 | 設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) |
電 | AC220V 50Hz,必須有良好接地 |
氣 | 設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥 |
工作臺 | 落地式,占地面積2m2以上 |
通風裝置 | 需要 |
電源 | AC220V 1500W |
蒸發電源功率 | 1000W 5V 200A |
蒸發電極有效距離 | 44mm |
樣品臺 | ?120mm(可旋轉) |
膜厚測量精度 | 0.1?或0.01?(可選配高精度型) |
外接真空機組 | 擴散泵機組(可選配國產110機組或進口機組)(不建議使用擴散泵) |
極限真空度 | >3.0×10-3torr(擴散泵)、3.0×10-4torr(分子泵)(不建議使用擴散泵) |
工作真空度 | 5.0×10-3torr |
真空接口 | KF40 |
使用環境 | 溫度35℃,濕度<75%(相對濕度)不結露,海拔<1500m |
尺寸 | 440mm×240mm×260mm(不包括真空機組) |
重量 | 約47kg(不包括真空泵) |
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