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GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統

應用范圍： GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發后凝結在基片上成膜的加熱鍍膜方法，該方法結構簡單、實用，使用可靠，適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作。

該鈣鈦礦蒸鍍系統配備6 組蒸發源，可蒸鍍切換最多6 種材料，也可同時共蒸2 種材料如：Cu、Ag、PbI₂、CsBr 等材料；設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，采用前滑動開門結構。該系列設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。

適用范圍：鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等。

產品型號：GSL-1800X-ZF6

上架時間：2024-07-17

版本號：V1.0

A^-A⁺

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       GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發后凝結在基片上成膜的加熱鍍膜方法，該方法結構簡單、實用，使用可靠，適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作。
       該鈣鈦礦蒸鍍系統配備6 組蒸發源，可蒸鍍切換最多6 種材料，也可同時共蒸2 種材料如：Cu、Ag、PbI₂、CsBr 等材料；設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，采用前滑動開門結構。該系列設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。
       適用范圍：鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等。

功能特點

GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統主要由金屬蒸發沉積室，真空排氣系統，真空測量系統，有機蒸發源，無機蒸發源，樣品臺系統，電控系統，配氣系統等部分組成
方便操作，制成的薄膜純度高、質量好，膜厚可以準確的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以獲得清晰的圖形，薄膜的生長比較單純
恢復工作真空快，大氣至5×10^-4Pa≤15 分鐘

技術參數
真空部分	1、真空系統：采用中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300 口徑，抽速：1300 L/S+飛躍VRD-16 機械泵真空系統，8 寸氣動擋板閥，真空測量：一個一低一高真空計（量程從大氣到3E-9torr），自動控制切換低真空、高真空測量；真空讀數輸入PLC，用于工藝控制；真空閥門：型號：DN40mm 擋板閥2 套；氣動主閥中科科儀DN200 1 套；真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封；不常拆靜密封采用無氧銅密封。 2、真空極限：優于2.0×10^-5Pa；漏率：優于5×10^-8Pa*L/S（國家標準）；關機12 小時后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮氣環境） 3、抽速：抽氣時間：大氣壓~5×10^-4Pa 小于20min；（手套箱干燥氮氣環境）
樣品臺	1、抽屜式結構，承載最大150*150mm 樣品，配氣動基片擋板。 2、基片與蒸發源距離電動可調，電動升降調節最大距離60mm 可調。 3、樣品臺可旋轉，帶水冷功能：樣品臺旋轉速度，0～30 轉／分連續可調。
蒸發源及電源	1、設備配2 組舟式蒸發源，金屬源采用水冷銅電極+蒸發舟結構(最高溫度1500 度）；配備2.4KW 蒸發電源1 套，蒸發源電源具有恒流和恒壓二種驅動驅動模式，二者可切換。蒸發電源可以通過軟件控制，也可以手動控制。蒸發電源還可以通過膜厚儀PID（閉環控制），自動調節蒸發速率。帶數顯。 2、配備4 套有機蒸發束源爐，4 臺20-10 有機蒸發電源，有機蒸發源帶溫度顯示功能，有機束源爐用日本導電溫控儀；配套4 組坩堝，加熱溫度：0-700 攝氏度；角度可調范圍：0-15 度
膜厚控制系統	1、電源：DC 5V（±10%），最大電流400mA 2、頻率分辨率：±0.03Hz 3、膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 4、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度 5、測量速度：100ms-1s/次，可設置 6、測量范圍：500000?（鋁）
手套箱參數	一、箱體 1.一個不銹鋼箱體，尺寸為2440mm（長）X780mm（寬）X900mm（高）箱體分兩節中間法蘭連接，背面預留法蘭接口和鍍膜機對接（鍍膜機有客戶提供，法蘭口尺寸),材質為SUS304 不銹鋼，厚度3mm 2.上掀式可拆卸的安全玻璃視窗，傾斜設計的操作面，鋼化玻璃厚度 10mm 3.4 只丁基橡膠手套 4.預留有10 個KF40 標準接口 5.配置有雙層不銹鋼擱物架 6.安全閥，保護設備和手套箱內材料 7.鋼結構支架，高914mm，安裝有萬向腳輪二、過渡艙 1.一個大過渡倉 1)材質：SUS304 不銹鋼 2)尺寸：Φ360X600mm 3)位置：箱體右側 4)連接方式：密封法蘭連接 5)傳送方式：通過移動托盤，托盤易拆卸，方便轉移體積大的物料 6)操作方式 a)手動操作：通過觸摸屏點觸閥門 b)自動操作：具有自動抽氣和充氣功能，用戶只需在觸摸屏上點觸啟動按鍵，PLC 自動完成多次抽充程序，規范操作，節省時間，提高工作效率。用戶可以設定抽充次數，每次抽氣時間和充氣壓力。 2.兩個小過渡倉 1)材質：SUS304 不銹鋼 2)尺寸：Φ155X320mm 3)位置：箱體右側和左側 4)連接方式：密封法蘭連接 5)傳送方式：通過移動托盤 6)操作方式：通過三通球閥手動操作三、氣體純化化系統 1.一個氣體純化柱： 1)選擇了最適合手套箱氣體凈化的高性能的銅催化劑和分子篩，用于除水和除氧 2)氧氣和水的吸附量分別為60升和2公斤 2.氣體純化柱吸附飽和后，用含氫的氮氣或氬氣再生，恢復其吸附能力 1)用氫氣/氮氣混合氣作為再生氣。H2：5%； N2:95% 2)由于手套箱的超低泄漏率，凈化柱的再生頻率約為每年一次 3.一個循環風機 1)流量90m³/h 4.有機溶劑吸附柱 1)含活性炭顆粒吸附材料 5.電氣動控制的循環主閥，KF40 標準接口 6.所有氣路都由電磁閥控制，凈化柱再生完全實現自動控制 7.循環系統的進出口裝有氣體過濾器四、控制系統 1.控制系統進口的PLC 和7”彩色觸摸屏組成，中英文操作界面 2.實現以下控制功能 1)自動控制箱體壓力 a)用戶可以在+10 至-10 毫巴之間任意設定工作壓力區間，PLC 將自動調控箱體壓力在設定范圍內。工作壓力區間的默認值為0 至+5 毫巴 b)箱壓大于12 毫巴時，PLC 自動開啟安全閥泄壓，保護手套、設備和箱體內的材料 c)使用腳踏開關，對箱壓進行微調 2)單鍵實現過渡艙多次抽充氣操作，節省時間 a)用戶可以設定抽充次數、每次抽氣時間和充氣壓力，然后啟動自動抽充程序，在設定的時間內自動完成抽充 3)可以手動監測泄漏率 a)設定手動檢測：只需按下啟動檢測按鈕，PLC 自動對箱體的密封性進行檢測并報告箱體的泄漏率 4)箱內氣體自動清洗功能 a)用戶設定清洗時間，再觸摸屏上點觸啟動按鍵，系統將開始清洗箱體，到設定的時間是自動停止 5)系統歷史數據自動記錄和顯示，也可以用U 盤導出在特定時間內的數據，如箱壓、水含量和氧含量 6)顯示操作錯誤和提示 7)箱體氣氛自動報警 8)所有操作均有預設條件，動作互鎖，避免不安全操作損壞設備或破壞箱體內的氣氛五、技術指標 1．泄露率﹤0.02vol%/h 2． H₂O﹤1ppm ，O₂﹤1ppm 六、其它附件 1.一臺氧分析儀 1、測量范圍可設：0-1000ppm 2、精度：量程的1% 或0.2ppm 3、安裝位置：科晶的氧傳感器安裝在箱體上，無論氣體循環與否，氧傳感器不間斷地檢測箱體內氣氛，顯示手套箱內的氧含量 4、傳感器：氧化鋯電池，其優點是零點準確、漂移小 5、顯示：分析儀的輸出連接到PLC，檢測數值在觸摸屏上顯示，可以設定報警值 6、控制：科晶采用實時監測功能，時刻保證并快速凈化氧，用最快的時間保證客戶設定的氧含量標定值 7、標定方法：準確檢測手套箱內的氧氣含量示至關重要的，科晶還向提供用戶分析儀的標定方法，使得分析儀能準確檢測手套箱內的雜質濃度，避免錯誤的讀數對實驗結果造成影響，浪費用戶的寶貴時間和材料 2．1 臺水分析儀 1)測量范圍：20℃到-100℃（露點） 2)精度：2℃ 3)顯示：分析儀的輸出連接到PLC，檢測數值在觸摸屏上顯示，可以設定報警值 4)控制：與氧分析儀一樣，可以根據用戶的設定對氣體循環系統進行自動控制，實現自動循環 4.箱內電源接口，配有多孔插座 5.真空通閥1 根七、驗收方法使用99.999%的惰性氣源，空箱運轉，箱內水氧含量均小于1PPM

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