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MSK-PSE-ALD1010 原子層沉積系統

產品型號：MSK-PSE-ALD1010

上架時間：2024-05-07

版本號：V1.0

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功能特點

外熱式反應腔體，加熱結構在真空室外，反應腔室維護保養無需拆卸腔室加熱器或樣品臺加熱器；
配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品；
3路前驅體源系統（包括2路金屬源和1路水源）；
高性能真空系統和殘余前驅體源處理熱阱；
自動控制沉積系統和工藝壓力實時檢測顯示；
可置于手套箱底部與手套箱對接；
可視化的操作界面，實時顯示系統各部分運行狀態，可方便的調節溫度、流量、脈沖時間等參數，編輯并保存配方參數；
多用戶權限分配，軟硬件互鎖，異常報警、緊急停機等功能確保安全性；
沉積模式可設為連續模式或停流模式；
外置移動支架顯示器操作。

技術參數
電源		三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz/60Hz，功率約12KW
反應腔體	腔室	外熱式單腔腔室
	樣品尺寸	最大100mm*100mm方片及以下尺寸
	反應溫度	最高150℃
前驅體源系統	金屬源	2路標準加熱前驅體源配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應時間＜10ms）、手動隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃
	水源	1路水源配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應時間＜10ms）、手動球閥和50mL不銹鋼源瓶
	載氣系統	2路載氣系統全套管路+VCR密封，前驅體源管路具有在線清洗功能
真空系統	極限真空	小于5×10^-3Torr
	真空漏率	小于5×10^-7Pa·L/s
	真空泵抽速	40m3/h
	其他配置	真空泵前級配置熱阱，加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應的前驅體源
	真空計	真空計前設有保護真空計的高效過濾網，沉積過程中可以實時監測顯示腔室壓力的變化
主機		PLC+4U工控機+顯示器

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