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MSK-PSE-EC1515 六源真空蒸鍍儀

應用范圍： MSK-PSE-EC1515六源真空蒸鍍儀配備3組有機束源式蒸發源爐+3組舟式蒸發源，可蒸鍍切換最多6種有機材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料；設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，采用前滑動開門結構。設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。

產品型號：MSK-PSE-EC1515

設備尺寸：約L1000*W780*H2000mm

重量：約360kg

上架時間：2024-04-16

版本號：V1.0

A^-A⁺

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MSK-PSE-EC1515六源真空蒸鍍儀配備3組有機束源式蒸發源爐+3組舟式蒸發源，可蒸鍍切換最多6種有機材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料；設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，采用前滑動開門結構。設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。

功能特點

真空腔室：采用304不銹鋼腔室，設計有前門雙導軌和后門手動鉸鏈結構，前后門帶玻璃觀察窗及防污擋板。腔室內外表面經過拋光處理，并預留有照明、膜厚儀等設備接口；
真空系統：配備中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BSV-30機械泵，具有高效的抽氣能力，抽氣時間短且極限真空度高（優于2.0×10-5Pa），關機12小時后仍可保持良好真空性能；
基片臺：抽屜式結構，可承載最大L150mm*W150mm樣品，配氣動基片大擋板，支持旋轉和水冷功能，與蒸發源距離可調，手動升降調節最大50mm可調；
蒸發源及電源：系統配置3組舟式蒸發源，金屬源采用水冷銅電極+蒸發舟結構，最高溫度可達1500℃；并配備2.4KW蒸發電源，支持恒流和恒壓兩種驅動模式，可手動/軟件控制也可通過膜厚儀PID控制調節蒸發速率；
膜厚控制系統：采用進口INFICON公司的SQC-310膜厚儀，精度高達0.01埃，能自動控制金屬蒸發電源輸出。同時，還配備了西門子PLC+觸摸屏手自動控制系統，可以輸入速率和終厚，通過PID調節實現對蒸發電源輸出的控制；
多項安全保護功能疊加，安全系數大大增加；
機械泵前加裝分子篩，抽氣口加裝過濾網、百葉窗等防護件，氣路設計避免揚塵；
所有樣品臺、源擋板，樣品臺旋轉均采用磁流體密封，保證系統長期穩定性。

技術參數
電源	三相五線制AC380V±10%，頻率：50Hz，總功率約8KW
氣源	壓縮空氣：干燥、干凈、無水、無油的壓縮空氣，8mm塑料氣管，壓力5.5～6公斤（0.55-0.6MPA）氮氣：干燥氮氣，用于設備腔室破真空，8mm塑料氣管，壓力1-2公斤（0.1-0.2MPA）
水源	流量15-20升/分鐘，15～25℃，進水和出水壓差3～4公斤，進水壓力3～5公斤，設備的進水和出水口外徑1英寸，建議在設備的進水口前安裝一個球閥，方便調節水壓和水流量
真空極限	真空極限優于2.0×10-5Pa 漏率：優于5×10－8Pa*L/S（國家標準）關機12小時后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮氣環境）
抽速	抽氣時間：大氣壓～5*10-4Pa，小于25min；（手套箱干燥氮氣環境）
真空室	304L不銹鋼方形真空室，內部電拋光，立式前后開門結構前門配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個（配防污玻璃），后門配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個（配防污玻璃）內襯材質：不銹鋼，多片結構方便拆卸安裝左側：連接主閥門和分子泵，真空測量接口頂部：安裝旋轉水冷樣品臺、樣品臺大擋板、膜厚儀接口各1個底板：安裝金屬蒸發電極、有機束源蒸發源爐各3組（預留一組膜厚儀探頭安裝口）真空室下方為一體式電控部分，配有萬向輪和地腳，方便移動
抽真空系統	分子泵+機械泵組合式真空系統，氣動閥門分子泵：中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑，抽速：1300L/S 機械泵：BSV30機械泵，抽速：9L/S 真空閥門：DN40mm 擋板閥2套；中科科儀氣動主閥DN200 1套真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封，不常拆靜密封采用無氧銅密封
真空計	復合真空計（一低一高2個真空計）自動控制切換低真空、高真空測量，范圍：大氣到5E-9torr 真空讀數輸入PLC，用于工藝控制
蒸發源	配備3組舟式蒸發源。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式配備3組有機束源蒸發源，配套3組坩堝，加熱溫度：0～700℃，角度可調范圍：15° 配備3臺有機蒸發電源，配備實時顯示坩堝溫度日本導電溫控儀，可程序段控溫
工件架	配有自轉電動工件盤，一次性放置最大150*150mm樣品，配有單轉軸空心磁流體密封，樣品旋轉高扭矩電機和控制器，轉速0～30RPM可調帶冷卻功能主控系統控制開關，轉速檢測并顯示氣動大擋板
系統自動控制	西門子PLC+觸摸屏手自動控制，可輸入速率及終厚，PID調節自動控制蒸發電源輸出控制內容：機械泵，分子泵，氣動、電磁閥門、真空計等等；自動抽真空、自動鍍膜、自動排氣等完整的互鎖保護（硬件、軟件互鎖），另外系統配備水流檢測報警裝置
安全保護	缺水欠壓檢測與保護、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統檢測與保護對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施
真空室尺寸	約L400W400H450mm
外形尺寸	約L1000W780H2000mm
重量	約360kg

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