● 輸入電源：220V AC 50Hz
● 輸出電壓：600 VDC
● 輸出功率：最大500W
● 整機功率：1000W（包括真空泵）

● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H（配置直靶頭）
● 尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 290 mm H（配置帶角度傾斜靶頭）
● 密封法蘭:直徑為165 mm，采用金屬制作，密封采用O形密封圈

濺射頭安裝靶材直徑為2英寸，同時可選配1英寸濺射頭

1英寸靶頭 2英寸靶頭
● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺，其與濺射頭之間距離可調
● 樣品臺可加熱，加熱溫度RT-500℃（RT為室溫）
● 安裝有一可手動操作的擋板
● 最大可制膜的直徑為:2英寸（標配2英寸，如果需要更大尺寸請與我們銷售聯系）

● 安裝有KF25真空接口
● 數字真空壓力表（Pa）
● 此系統運行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設備中不包含）
● 采用機械泵< 3.8E-2 Torr(參考值，詳情請點擊）
● 采用渦旋分子泵< 3.8E-5 Torr(參考值，詳情請點擊）
● 可在本公司選購各種真空泵

● 設備上配1/4英寸進氣口方便連接氣瓶
● 設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕，方便調節氣流

● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度)
● 可在本公司選購各種靶材

可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上

540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H

● 有時為了達到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜
● 為了得到較好的薄膜質量，必須通入高純氣體（建議> 5N）
● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
● 要達到薄膜與基底良好結合，請在濺射前清潔基材表面
● 超聲波清洗（詳細參數點擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥（4）真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗（詳細參數點擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學鍵，可祛除額外的污染物。
● 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應用于改善金屬和合金的附著力。

    超聲波清洗機          等離子清洗機             蒸鍍儀                      手套箱

● 注意：產品內部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體。
● 氣瓶上應安裝減壓閥（設備標配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶

CE認證