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小巨人
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VTC-16-3HD 小型三靶等離子濺射儀

應(yīng)用范圍:VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。

產(chǎn)品型號(hào) :VTC-16-3HD

上架時(shí)間 :2019-08-16

安裝尺寸:460mm×330mm×540mm (L×W×H)

重量:50Kg(不包括泵)

產(chǎn)品簡(jiǎn)述 產(chǎn)品詳情 產(chǎn)品視頻 留言咨詢

       VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。

 性能指標(biāo)和基本配置
主要參數(shù)

● 輸入電源:220V 通用  功率:< 1KW
● 工作電流: 濺射電流:0-50 mA可調(diào)
● 單次工作時(shí)間:0-5分鐘可調(diào)
● 靶頭數(shù)目:3個(gè)
● 輸出電壓:1600V DC
● 樣品臺(tái)加熱溫度:500℃(選配,詳細(xì)請(qǐng)聯(lián)系售后)

濺射腔體

● 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
● 密封:O形密封圈密封

樣品臺(tái)

● 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片,可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置
● 濺射距離:濺射距離可調(diào)
● 可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)(最高溫度可到500℃)
● PID控制器控溫精度+/- 1℃(已集成到觸摸屏上)
1

控制面板

● 控制面板為PLC,4.3" 觸摸屏
● 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
1

真空泵(選配)

● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
1

進(jìn)氣口 一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
靶材

● 要求安裝靶材的尺寸:直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm
● 可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接
1

各種靶材的參數(shù)(僅供參考) 對(duì)于濺射各種金屬靶材,需要摸索最理想的濺射參數(shù),下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
靶材種類 真空度(Pa) 濺射電流(mA) 時(shí)間(s) 濺射次數(shù)
Au 31-33 28-30 100 1
Ag 31 28 100 1
產(chǎn)品尺寸 460mm×330mm×540mm (L×W×H)
1
凈重 50 kg(不包括泵)
使用注意事項(xiàng)

● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié)
● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N)
● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
● 超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮?dú)飧稍铮?)真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物
● 制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
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     超聲波清洗機(jī)        等離子清洗機(jī)     大功率磁控濺射儀              蒸鍍儀                     手套箱

警告

● 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機(jī)體
● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標(biāo)配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

認(rèn)證

1CE認(rèn)證

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
暫無(wú)內(nèi)容
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