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D-500 臺階儀

應用范圍：D-500臺階儀支持臺階高度和粗糙度的2D輪廓掃描，以及翹曲度和應力的2D測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。設備提供最高1200μm垂直量測距離，亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應用范圍，包括從納米級到毫米級的臺階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應力等，使其能夠服務于研發和生產環境中的各個行業。

產品型號：D-500

上架時間：2024-04-29

版本號：V1.0

A^-A⁺

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D-500臺階儀支持臺階高度和粗糙度的2D輪廓掃描，以及翹曲度和應力的2D測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。設備提供最高1200μm垂直量測距離，亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應用范圍，包括從納米級到毫米級的臺階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應力等，使其能夠服務于研發和生產環境中的各個行業。

功能特點

臺階高度重復性：亞埃分辨率及光學杠桿傳感器具有低重量，低噪聲的特點。在1微米臺階的高度重復性為5埃；
直觀的用戶界面，數據采集設置和系統硬件控制顯示在同一界面，直接保存原始數據，數據分析無需重新測量，操作便捷；
超高清鏡頭：500萬像素高分辨率彩色相機，4倍數碼變焦和增強的照明控制；
梯形校正：消除側視鏡頭畫面的扭曲失真；
圓弧修正：圓弧修正功能可自動修正探針在測量過程中的圓弧運動，極大提高了側壁傾角和臺階寬度量測的精確度；
主要應用領域：薄膜/厚膜臺階的精準量測、蝕刻深度量測、柔性薄膜、表面粗糙度/平整度表征、薄膜2D應力量測、表面起伏度/彎曲度和其他多種表面分析功能。

技術參數
單次量測長度	30mm
拼接量測長度	80mm
探針	最大垂直測量值：1200μm 針壓施力范圍：0.03-15mg 電腦控制施力
側視鏡頭	FOV：3760*3120μm 相機：500萬像素數碼相機支持4倍放大電腦校正視野
手動樣品臺	尺寸：直徑140mm 水平移動范圍：20mm*80mm
手動水平調節	1微米標樣 50微米標樣
探針	5微米，夾角60°
電腦配置	Windows10，64位，4GB內存，500GB硬盤配有16X倍速DVD±RW刻錄機配有USB2.0（前后各一個）和RJ45接口配19寸LCD顯示器

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