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MSK-PSE-GEC1515 蒸鍍手套箱一體機

應用范圍：六源鈣鈦礦真空蒸發鍍膜機配備3組有機束源式蒸發源爐+3組舟式蒸發源，可蒸鍍多種金屬或有機材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料，與專用雙節單面雙工位手套箱對接組成一體機后可在手套箱中操作。設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。

產品型號：MSK-PSE-GEC1515

整機尺寸：約L2410*850*H1860mm

重量：約920kg

上架時間：2024-04-12

版本號：V1.1

A^-A⁺

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六源鈣鈦礦真空蒸發鍍膜機配備3組有機束源式蒸發源爐+3組舟式蒸發源，可蒸鍍多種金屬或有機材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料，與專用雙節單面雙工位手套箱對接組成一體機后可在手套箱中操作。設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。

真空蒸發鍍膜機功能特點

真空腔室：采用304不銹鋼腔室，設計有前門雙導軌和后門手動鉸鏈結構，前后門帶玻璃觀察窗及防污擋板。腔室內外表面經過拋光處理，并預留有照明、膜厚儀等設備接口；
真空系統：配備中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BSV-30機械泵，具有高效的抽氣能力，抽氣時間短且極限真空度高（優于2.0×10^-5Pa），關機12小時后仍可保持良好真空性能；
基片臺：抽屜式結構，可承載最大L150mm*W150mm樣品，配氣動基片大擋板，支持旋轉和水冷功能，與蒸發源距離可調，手動升降調節最大50mm可調；
蒸發源及電源：系統配置3組舟式蒸發源，金屬源采用水冷銅電極+蒸發舟結構，最高溫度可達1500℃；并配備2.4KW蒸發電源，支持恒流和恒壓兩種驅動模式，可手動/軟件控制也可通過膜厚儀PID控制調節蒸發速率；
膜厚控制系統：采用進口INFICON公司的SQC-310膜厚儀，精度高達0.01埃，能自動控制金屬蒸發電源輸出。同時，還配備了西門子PLC+觸摸屏手自動控制系統，可以輸入速率和終厚，通過PID調節實現對蒸發電源輸出的控制；
多項安全保護功能疊加，安全系數大大增加；
機械泵前加裝分子篩，抽氣口加裝過濾網、百葉窗等防護件，氣路設計避免揚塵；
所有樣品臺、源擋板，樣品臺旋轉均采用磁流體密封，保證系統長期穩定性。

手套箱功能特點

密閉循環，手套箱內的惰性氣體經循環風機和凈化器密閉循環，不斷地除水除氧；
自動控制再生，除水除氧材料可以再生，再生過程由程序控制；
自動清洗，手套箱內的氣氛置換通過自動控制的清洗閥門完成；
箱體壓力控制，手套箱內壓力通過PLC自動；
真空泵自動控制，真空泵可在系統需要時自動開啟；
手套箱用于操作蒸鍍儀的手套位高度比常規手套位高度高50mm，更方便對蒸鍍儀進行操作；
側面預留有安裝釘，可用于固定蒸鍍儀的支架和觸摸屏；
大過渡艙補氣采用氣瓶補氣方式。

真空蒸鍍儀技術參數
電源	三相五線制AC380V±10%，頻率：50Hz，總功率約8KW
氣源	壓縮空氣：干燥、干凈、無水、無油的壓縮空氣，8mm塑料氣管，壓力5.5～6公斤（0.55-0.6MPa）氮氣：干燥氮氣，用于設備腔室破真空，8mm塑料氣管，壓力1-2公斤（0.1-0.2MPa）
水源	流量15-20升/分鐘，15～25℃，進水和出水壓差3～4公斤，進水壓力3～5公斤，設備的進水和出水口外徑1英寸，建議在設備的進水口前安裝一個球閥，方便調節水壓和水流量
真空極限	真空極限優于2.0×10^-5Pa 漏率：優于5×10^－8Pa*L/S（國家標準）關機12小時后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮氣環境）
抽速	抽氣時間：大氣壓～5*10^-4Pa，小于25min；（手套箱干燥氮氣環境）
真空室	304L不銹鋼方形真空室，內部電拋光，立式前后開門結構前門配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個（配防污玻璃），后門配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個（配防污玻璃）內襯材質：不銹鋼，多片結構方便拆卸安裝左側：連接主閥門和分子泵，真空測量接口頂部：安裝旋轉水冷樣品臺、樣品臺大擋板、膜厚儀接口各1個底板：安裝金屬蒸發電極、有機束源蒸發源爐各3組（預留一組膜厚儀探頭安裝口）真空室下方為一體式電控部分，配有萬向輪和地腳，方便移動
抽真空系統	分子泵+機械泵組合式真空系統，氣動閥門分子泵：中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑，抽速：1300L/S 機械泵：BSV30機械泵，抽速：9L/S 真空閥門：DN40mm 擋板閥2套；中科科儀氣動主閥DN200 1套真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封，不常拆靜密封采用無氧銅密封
真空計	復合真空計（一低一高2個真空計）自動控制切換低真空、高真空測量，范圍：大氣到5E-9torr 真空讀數輸入PLC，用于工藝控制
蒸發源	配備3組舟式蒸發源。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式配備3組有機束源蒸發源，配套3組坩堝，加熱溫度：0～700℃，角度可調范圍：15° 配備3臺有機蒸發電源，配備實時顯示坩堝溫度日本導電溫控儀，可程序段控溫
工件架	配有自轉電動工件盤，一次性放置最大150*150mm樣品，配有單轉軸空心磁流體密封，樣品旋轉高扭矩電機和控制器，轉速0～30RPM可調帶冷卻功能主控系統控制開關，轉速檢測并顯示氣動大擋板
系統自動控制	西門子PLC+觸摸屏手自動控制，可輸入速率及終厚，PID調節自動控制蒸發電源輸出控制內容：機械泵，分子泵，氣動、電磁閥門、真空計等等；自動抽真空、自動鍍膜、自動排氣等完整的互鎖保護（硬件、軟件互鎖），另外系統配備水流檢測報警裝置
安全保護	缺水欠壓檢測與保護、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統檢測與保護對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施
真空室尺寸	約L400W400H450mm
外形尺寸	約L1000W780H2000mm
重量	約360kg

手套箱技術參數
電源		單相AC220V±10%，頻率：50Hz，總功率約1KW
工作環境		建議環境溫度25±3℃，濕度30~90RH，無振動和電磁干擾
工位形式		單面出雙工位
箱體材質		厚度3mm，SUS304不銹鋼
泄露率		≤0.005vol%/h
玻璃窗		傾斜設計， 10mm 安全鋼化玻璃，使用螺絲固定
手套口		直徑 220mm，防腐蝕處理，硬鋁合金材質
手套		口徑 8 英寸，厚度 0.4 mm
機架		高約960mm，含腳輪，可轉移手套箱
擱物架		不銹鋼材料，可調節高度
照明		節能照明燈安裝在每塊玻璃窗前上方，貼有防反射材料，光線柔和，防視覺疲勞
接口		備用接口5個，KF40，含電源接口1個（220V，50Hz）
大過渡艙	艙體	SUS304不銹鋼，采用氣彈簧式開門方式，通過法蘭連接
	尺寸	直徑 360mm, 長度 600mm
	滑動托盤	SUS304不銹鋼，約L595mm*W230 mm，可左右自由移動延伸深度 361mm，可拆卸
	自動抽補氣	單獨接氣瓶補氣
小過渡艙	艙體	SUS304不銹鋼，與手套箱安裝
	尺寸	直徑 320mm, 長度 155mm（進入箱體部分100mm）
	手動控制系統	采用手動閥門控制
控制系統	腳踏板	使用腳踏開關，對箱壓進行微調
控制系統	顯示屏	包括自診斷、斷電自啟動特性，具備壓力控制和自適應功能自動控制、循環控制、密碼保護、真空室控制采用 LCD 顯示操作菜單可選：中文/英文通過 PLC 觸摸式調節（抽空、凈化、再生）全過程無需人為監控
循環凈化系統	凈化柱	凈化材料：銅催化劑 5kg，分子篩 5kg
	凈化能力	水、氧<1ppm 除水能力：2kg 除氧能力：80L
	循環風機	流量 0-90m3/h，微處理器控制，經過壓力測試的不銹鋼裝置
	凈化安全閥	高真空氣動擋板閥
	過濾器	采用符合HEPA標準的0.3微米孔徑濾網的高效率過濾器
內箱尺寸		右側大內箱約L1000mmW780H900mm 左側小內箱約L800mmW300H900mm
整機尺寸		約L2410850H1860mm
設備重量		約920kg

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