● 兩個獨立的加熱裝置，兩個獨立控溫裝置及兩路浮子流量計均被精巧的設計在一個可移動的鋁合金框架上。
● 腔體是由高純石英管制成
● 真空法蘭由不銹鋼制成

● 石英腔體尺寸：11"O.D×10.8"I.D×9"H mm
● 推薦加熱速率：≦10℃/s
● 最高工作溫度：≦600℃
● 總功率：8KW（8根紅外燈管，單根功率1KW）
● 電壓：AC220V，50Hz，單相（需20A的空氣開關）

● 由兩組紅外燈管作為加熱元件可實現快速加熱
● 兩個獨立的加熱裝置之間的距離可調0-70mm
● 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上
● 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部
● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（Ф3"×T0.5 mm ），使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻
● 可將AlN陶瓷片更換為石墨片（請點擊下圖3選購）
● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發料
● 如需要更換紅外燈管，請點擊下圖4選購

● 真空法蘭材質為316不銹鋼制作
● 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
● 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
● 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵（標配不含機械泵）抽真空度可達10-2 torr，頂部法蘭可手動操作進行上下移動來進行加載/卸載襯底和蒸發料。
● 一個防腐型數顯式真空表安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內真空度。

● 兩個數顯式溫控表都可設置30段控溫程序
● 每個溫控表都具有PID調節功能，保護加熱器不受過熱影響同時具有報警功能，避免過熱使熱電偶損壞
● 該設備可與計算機相連接，可選購控溫軟件，將溫度程序設置和溫度曲線導入電腦中。

每個加熱器最高溫度:≦600℃

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

水冷機

850(L)×745(W)×1615(H) mm

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