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PCE-6V 小型等離子清洗機

用范圍：PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內徹底清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

產品型號：PCE-6V

上架時間：2019-09-04

安裝尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）

重量：20kg（不含真空泵）

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PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內徹底清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

性能指標和基本配置
主要特點	● 采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。 ● 可短時間內徹底清洗掉有機污染物。 ● 清洗程度可達到分子級。 ● 可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。 ● 清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。 ● 樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。 ● 廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。
參數	● 電壓：AC220V 10A ● 消耗功率：<500W（包括真空泵） ● RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz ● 腔體：Φ190mm×98mm ● 石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm ● 內腔：Φ165mm×55mm ● 清洗電極：Φ120mm ● 樣品臺：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm ● 樣品臺與電極間距：15mm-50mm ● 可調抽氣管：Φ12mm ● 極限真空度：0.1Pa ● 工作真空度：60Pa-500Pa ● 氣路數量：2路（選裝） ● 流量控制器數量：1、2 ● 流量顯示儀：2通道 ● 氣路接口：Φ6mm ● 加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） ● 冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa ● 工作環境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m
產品規格	● 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） ● 重量：20kg（不含真空泵）
可選配置	● 加熱樣品臺 ● 流量控制器（量程10、50、100，最多可增加2個通道）
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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