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PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機

應用范圍：PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續可調節。此款設備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應用，對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

產品型號：PCE-500W

上架時間：2019-09-04

安裝尺寸：600mm L×600mm W×810mm H

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PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續可調節。此款設備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應用，對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

性能指標和基本配置
主要參數	● 射頻功率：0-500W ● 總功率：1.5KW ● 電源：AC220V 50/60Hz
射頻電源	● 射頻功率可在0-500W之間調節 ● 頻率：13.56MHz ● 注：可與本公司工作人員聯系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機
等離子腔體	● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體 ● 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封 ● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口 ● 此設備完全屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏
控制面板	● 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等 ● 儀器內部安裝有一0 - 100ml/minute質量流量計，可精確地控制進氣流量
真空泵（選配）	● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ● 極限真空度為80mTorr（參考值，具體請點擊）
通入氣體	● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據材料性質所定） ● 不能使用易燃氣體及腐蝕性氣體。
可選	● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 ● 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統
產品尺寸	600mm L×600mm W×810mm H
相關應用	● 請自行根據您的應用測試最佳的等離子功率 ● 對于等離子清洗，根據工藝，通常保持射頻功率在10 -100W之間 ● 對于等離子刻蝕，根據工藝，通常保持射頻功率在300-500W之間
質量認證	CE認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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