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GSL-1700X-HVC9 1700°C九通道混氣高真空CVD系統

應用范圍:GSL-1700X-HVC9是經過CE認證的80mm直徑氧化鋁管式爐,帶有真空泵系統(最高10^-5 torr)和9通道精密數字質量流量計,可控制九種類型的氣體用于CVD或擴散,并可以工作到1700℃。 

產品型號 :GSL-1700X-HVC9 

上架時間 :2019-07-02 

安裝尺寸:爐體:550 x 380 x 520 

                 底部殼體:600x600x597 

凈重:約100Kg

產品簡述 產品詳情 產品視頻 留言咨詢

       GSL-1700X-HVC9是經過CE認證的80mm直徑氧化鋁管式爐,帶有真空泵系統(最高10^-5 torr)和9通道精密數字質量流量計,可控制九種類型的氣體用于CVD或擴散,并可以工作到1700℃。

 性能指標和基本配置
爐體結構

● 雙層鋼外殼,帶空氣冷卻。
● 內部有兩個冷卻風扇,以保持外殼溫度<55oC。
● 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長爐膛的使用壽命
● 高純度氧化鋁耐火室
● 真空和氣體混合系統位于底部帶有4個輪子的移動推車。
● 包括真空法蘭,儀表,閥門,管道和高真空泵,可立即使用。

功率

6 Kw

電壓

AC 208-240V單相,50/60 Hz

加熱元件

8 pcs1800°C級MoSi2

最高溫度

1700 °C(<1小時)

連續溫度

1600 °C

最高加熱率

≤5 °C /min

管尺寸和材料

優質氧化鋁管美國制造:
●(標配尺寸)(60mm)O.D.x I.D. (54毫米)x 1000毫米長度
●(選配尺寸)(80mm)O.D.x I.D. (74毫米)x 1000毫米長度
●安裝兩對SS調節支架,以避免管在高溫下彎曲。
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加熱區

● 加熱區長度:457毫米(18")
● 恒溫區長度:150 mm(6“)(+/- 1°C)
注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據,請與我公司銷售人員聯系

溫度控制器

● 一個精密數字溫度控制器,可編程50段。
● PID可調,具有自動調諧功能,可確保溫度穩定在+/- 1 oC范圍內。
● 在每個控制器中提供全面保護,以防止溫度過高和熱電偶損壞。

熱電偶

內置B型熱電偶

真空法蘭

● 兩個不銹鋼法蘭,帶真空軟管和氣體接頭管。
● 一個法蘭安裝有KFD-40適配器和球閥。
● 雙層高溫硅膠O型圈,可在300oC以下使用。
● 包括多孔氧化鋁塊以保護法蘭免受熱輻射。

真空泵

牽引式安裝在底殼中的真空泵:
● 一個雙步旋轉葉片高速機械真空泵 - T2XZ-4C110最大 真空壓力為10-2torr。
● 一個渦輪分子泵,最大。 真空壓力為2x10-5torr
● 安裝一個精密真空傳感器。
● 包括不銹鋼軟管用于連接管式爐。
● 安裝數字真空計/控制器。

真空傳感器和顯示器

● 真空傳感器安裝在管式爐上的真空法蘭上,并連接到數字真空壓力顯示器。
● 真空控制器和顯示器安裝在底部移動推車中。
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氣體流量計用戶手冊

● 9個精密質量流量計(CS200)控制器安裝在底部移動推車中,數字顯示面板為滿量程的+/- 1%(精度在滿量程的35%-100%范圍內)
● 3 MFC,范圍0 - 1000scc
● 3 MFC,范圍0 - 200scc
● 3 MFC,范圍0 - 10 scc
● 將安裝一個浮動儀表,僅用于N2氣體
● 一個機械壓力計安裝在底部移動推車中,用于監測混合器中每種氣體的壓力。
● 9質量流量MFC控制面板/顯示器帶撥號按鈕,可調節氣體流量。 請看下面的圖片。
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軟件和界面
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管道連接&閥門和氣體混合器

● SS 316 1/4“管/配件
● SS 316真空針閥
● 移動機柜右側面板外安裝21套不銹鋼真空閥,分別控制,真空泵,流動氣體和兩種進氣。
● 請點擊此處查看管道連接示意圖。
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外形尺寸

爐體:550 x 380 x 520 底部殼體·:600x600x597

凈重

約100Kg

裝運重量

200 Lbs

質量認證 1CE certified
保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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