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OTF-1200X-5-III-F3LV 帶滑動法蘭三溫區CVD系統

應用范圍：帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃，并通過調整三個溫區而建立不同梯度的熱場，可進行退火、擴散、在不同氣氛中燒結樣品及CVD等實驗。

產品型號：OTF-1200X-5-III-F3LV

上架時間：2020-04-20

管式爐尺寸：1080mm×430mm×600mm

重量：70kg

A^-A⁺

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帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃，并通過調整三個溫區而建立不同梯度的熱場，可進行退火、擴散、在不同氣氛中燒結樣品及CVD等實驗。

功能特點

雙層殼體，配有冷系統，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。
內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。
一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數字真空計。
采用三個獨立PID控制器，可以設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。
已通過CE認證。

技術參數
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風裝置	需要
電源	單相AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保險絲）
石英管	外徑?125mm，內徑120mm，長1400mm，帶有一對真空密封法蘭
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲
加熱區域	溫區I長229mm，溫區II長457mm，溫區III長229mm，總長915mm
恒溫區域	三個溫區為同一溫度時為625mm，溫區II為110mm
工作溫度	最高1200℃，連續工作1100℃
最大升降溫速率	20℃/min
控溫精度	±1℃
熱電偶	K型
浮子流量計	3個，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min
數字真空計	10-4torr
管式爐尺寸	1080mm×430mm×600mm
重量	70kg

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