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GSL-1700X-F3LV 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應用范圍:GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),最高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

產(chǎn)品型號:GSL-1700X-F3LV

上架時間:2020-04-17

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       GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),最高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
  技術(shù)參數(shù)
管式爐結(jié)構(gòu) 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C.
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件 1800 grade MoSi2 ( 8根)
最高工作溫度 1700℃
最大升溫速率 5℃/min
最大降溫速率 5℃/min
加熱區(qū)長度 455mm (18")
恒溫區(qū)長度 150(+/-1℃) 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系
溫控系統(tǒng) 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR
可設置30段升降溫程序
帶有過熱和斷偶保護
控溫精度 +/-1℃
爐管材質(zhì)和尺寸 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
(標配)OD: 60 mm:ID: 52mm x1000 mm length
(選配)OD: 80 mm:ID: 72mm x1000 mm length
密封法蘭 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表(圖片中的藍表為選配)和閥門
通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr
泄漏率最大6 mtorr/min
輸入電源 AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:最大5KW
真空泵和配件 真空泵 一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內(nèi)
通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr
配件 標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭
一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
氣體流量計 3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體
第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min
第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min
第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min
一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來監(jiān)測混合氣體的壓力
四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
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運輸信息 產(chǎn)品尺寸 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 真空機組: 600 x 600 x 700mm
凈重 450 lb (總計)
運輸重量 500 lb (總計)
質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件
質(zhì)量認證 CE certified
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