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小巨人
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OTF-1200X-S2-50SL 1200℃小型雙爐體滑動(dòng)管式爐

應(yīng)用范圍:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過(guò)爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。 

產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-S2-50SL 

上架時(shí)間 :2019-07-22 

安裝尺寸:爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H 

                 整體:1600mm L x 430mm W x 500mm H 

重量:80Kg

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       OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過(guò)爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。

 性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命)
● 可選購(gòu)石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度(圖3-4)
● 設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性(圖5-6)
● 爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng),爐子可以滑動(dòng)700mm的距離

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        圖1                     圖2                          圖3                        圖4                        圖5                        圖6

基本參數(shù)

● 熱偶:K型熱偶
● 爐建議升溫速率:≤10℃/min
● 溫度:1100℃ (1200℃<1h)
● 電源:AC220,50Hz   最大3KW

高純石英管尺寸

尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命)

加熱區(qū)

每個(gè)加熱爐加熱區(qū)長(zhǎng)度:200mm

密封法蘭

● 一對(duì)SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)
● 兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上(圖一)
● 一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(圖一)
● 可選:您可以選購(gòu)kf25真空口法蘭(圖二)
● 您可以訂購(gòu)法蘭支架(圖三)

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             圖1                             圖2                                     圖3


溫控系統(tǒng)

● 包含一款808P型溫度控制器
● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
● 通過(guò)MET認(rèn)證
● 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。
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可選

● 可選購(gòu)電動(dòng)滑軌(圖一)
● 可選購(gòu)1-9通道混氣系統(tǒng)(圖二)
● 100W-500W的射頻等離子源,與管式爐配合可搭建起等離子增強(qiáng)的加熱CVD系統(tǒng)(圖三)

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             圖1                        圖2                          圖3                                圖4


溫度校準(zhǔn)(可選)

● 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的校準(zhǔn)套件包括:
● 48”L(1/4”O(jiān)D)K型熱電偶校準(zhǔn)
● 一Omega溫度校準(zhǔn)器
● 熱電偶補(bǔ)償線
● 你可以考慮分子泵,真空度可達(dá)10-5Torr
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滑軌

● 鍍鉻鋼制成的雙滑軌
● 滑軌長(zhǎng)度:1600mm
● 滑軌中包含兩個(gè)個(gè)固定裝置,用于固定爐子的位置

真空系統(tǒng)(可選)

●用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr
● 用分子泵真空度可達(dá) 10E-4 torr
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尺寸

● 爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H
● 整體:1600mm L x 430mm W x 500mm H
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凈重

80Kg

使用注意事項(xiàng)

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
提示:最大的加熱和冷卻速度是通過(guò)將爐管的一側(cè)預(yù)熱到目標(biāo)溫度,然后將爐子滑到另一側(cè)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。 您可以選擇將樣品放置在預(yù)熱區(qū)域。

應(yīng)用提示

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭。
·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用前需要校準(zhǔn)溫度,請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解如何使用。

認(rèn)證

所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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