AC220V 單相 50/60Hz  100W

● 通過6″PLC觸摸屏對ALD蒸汽脈沖時間、氣體流量等參數進行設定控制
● 可控制2個ALD閥門的脈沖時間以及循環次數（毫秒級）
● 可控制4通道的氣體流量（4通道質子流量計，精度±0.2%F.S）
● 真空壓力顯示
● 請點擊圖片查看控制界面
● RS485 通訊接口和PC軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制

● 對于兩種前驅體氣體的沉積，需2個ALD進氣閥進行控制（不包含在設備中）
● 客戶可使用自己已有的ALD閥或點擊下圖選購本公司ALD閥

● 四通道質子流量計控制系統可用于4路氣體的通入和混合
流量范圍:
● 一路: 0~100 SCCM
● 二路: 1~199 SCCM
● 三路: 1~199 SCCM
● 四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用
● 工作溫度：5~45oC  耐壓:3MPa
● 精度: ±1.5% FS  線性: ±1%F.S.重復精度: ±0.2%F.S.

● 內置不銹鋼混氣罐
● 內部連接管道為1/4”不銹鋼管
● 外部通氣管道為1/4”聚四氟管

Φ80X120mm

316不銹鋼針閥   Φ1/4” 不銹鋼管

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

● 可選購氣液混合裝置用于蒸汽的通入，點擊下圖查看詳情
● 客戶可另外付費由本公司對ALD控制單元以及管式爐系統進行連接組裝

CE認證