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小巨人
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TF-1200X-4-C4LVS 1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統

應用范圍:OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。 

產品型號 :OTF-1200X-4-C4LVS 

上架時間 :2019-07-05 

安裝尺寸:爐體: 550 x 380 x 520 

                 移動架: 600x600x597 

重量:300 lb

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       TF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。

 性能指標和基本配置
爐體結構

● 高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有極好的溫度均勻性.
● 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。
● 爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.
● 密封法蘭系統全不銹鋼制作。

電源

電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險絲)

加熱溫度

● 最高溫度: 1100°C
● 連續溫度: 1000°C

加熱區

加熱區長度: 440mm

加熱和冷卻速度

最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關,  請點擊下圖可以看出最快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前,要校準工作溫度和加熱、冷卻速度 )
1

石英管

● 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm
● 內管:OD80 x ID 75 x 1800 mm

真空法蘭

● 一對 SS304不銹鋼法蘭,通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
● 爐子底部裝有一對滑軌
● 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻。
● 為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預熱,然后滑到放置樣品的位置。
● 為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置。
1
極限真空度: 10^-2 torr (機械泵) ,10^-5 torr (分子泵)
可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)
1

溫控儀

● 溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程序控制。
● 控溫精度: +/-1°C

混氣系統

4路精密質子流量計:
● 數字顯示、氣體流量自動控制.
● MFC 1范圍:  0~100 sccm
● MFC 2范圍:  0~200 sccm
● MFC 3范圍:  0~200 sccm
● MFC 4范圍:  0~500 sccm
● 氣路: 4 路
● 流量精度: 0.2%
● 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套
● 一個混氣罐.
● 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。
● 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量.
1

真空泵

● 安裝在移動架底部的機械泵,真空度達 10-3 Torr.
● 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .
● 數字真空表安裝在一端的法蘭上..
選擇: 可以配分子泵,真空度達 10-5 Torr?.

作為基片用的25um厚的銅箔  (選配)

生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
1

尺寸(mm)

● 爐體: 550 x 380 x 520
● 移動架: 600x600x597

凈重

300 lb

應用注意事項 ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
質量認證

● CE認證
● 所有電器元件(≧24V)都通過了UL/MET/CSA認證
1

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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