應用范圍:OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。
產品型號 :OTF-1200X-4-C4LVS
上架時間 :2019-07-05
安裝尺寸:爐體: 550 x 380 x 520
移動架: 600x600x597
重量:300 lb
TF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。
性能指標和基本配置 | ||
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爐體結構 |
● 高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有極好的溫度均勻性. |
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電源 |
電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險絲) |
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加熱溫度 |
● 最高溫度: 1100°C |
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加熱區 |
加熱區長度: 440mm |
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加熱和冷卻速度 |
最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關, 請點擊下圖可以看出最快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。 |
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石英管 |
● 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm |
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真空法蘭 |
● 一對 SS304不銹鋼法蘭,通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。 |
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溫控儀 |
● 溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程序控制。 |
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混氣系統 |
4路精密質子流量計: |
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真空泵 |
● 安裝在移動架底部的機械泵,真空度達 10-3 Torr. |
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作為基片用的25um厚的銅箔 (選配) | ||
尺寸(mm) |
● 爐體: 550 x 380 x 520 |
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凈重 |
300 lb |
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應用注意事項 |
● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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質量認證 | ||
保修期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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