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OTF-1200X-S25-II-SL 1200℃1英寸雙溫區管式爐CVD系統

應用范圍：OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區管式爐CVD系統。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區滑軌爐、質子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫；觸屏式三路質子流量器，能夠精確控制系統的供氣；真空泵可實現對管式爐快速抽真空。

產品型號：OTF-1200X-S25-II-SL

上架時間：2019-07-02

安裝尺寸：600(L) x 600(W) x 700(H) mm

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OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區管式爐CVD系統。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區滑軌爐、質子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫；觸屏式三路質子流量器，能夠精確控制系統的供氣；真空泵可實現對管式爐快速抽真空。

性能指標和基本配置
OTF-1200X-S25-II -SL管式爐	爐體結構	● 采用雙層殼體并帶有風冷系統，使其爐體表面溫度都小于55℃ ● 爐底安裝一對滑軌，可滑動，內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
	爐管尺寸	Φ25×1000mm
	功率	1.2kW
	輸入電壓	220VAC 單相 50/60Hz
	加熱元件	Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）
	最高溫度	最高1200℃額定溫度1100℃
	升溫速率	≦10℃/min（推薦）
	加熱區長度	● 兩個加熱區的長度都是100mm ● 分別由獨立的溫控系統控制
	控溫精度	±1℃
	快速連接法蘭	● KF25不銹鋼真空法蘭 ● 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便 ● 另配備有可調節高度的法蘭支架
真空系統（多種真空系統可選請點擊這里)	殼體尺寸	600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm
	最大承載量	1000 Lbs
	抽氣速率	● 3L/S ● 極限真空度：10-1Pa ● 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接
	電壓	AC220V/50Hz單相
	功率	23W
應用注意事項	●爐管內氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質量認證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證/ CE認證,若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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