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GSL-1700X-F3LV 1700℃單溫區三通道混氣CVD系統

應用范圍：GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統采用三路浮子供氣系統，最高溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

產品型號：GSL-1700X-F3LV

上架時間：2019-06-28

安裝尺寸：爐體：550 x 500 x 700mm L x W x H

混氣系統：: 600 x 600 x 700mm

真空機組： 600 x 600 x 700mm

A^-A⁺

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GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統采用三路浮子供氣系統，最高溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

性能指標和基本配置
爐體結構	●采用雙層殼體結構，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C. ●保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能，減少熱量的損失 ●內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件	1800 grade MoSi2 ( 8根)
最高工作溫度	1700℃
最大升溫速率	5℃/min
最大降溫速率	5℃/min
加熱區長度	455mm (18")
溫控系統	●一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR ●可設置30段升降溫程序. ●帶有過熱和斷偶保護
控溫精度	+/- 1℃
爐管材質和尺寸	●99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 ●（標配）OD: 60 mm：ID: 50mm x1000 mm L ●（選配）OD: 80 mm：ID: 70mm x1000 mm L
密封法蘭	●兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經安裝機械壓力表（圖片中的藍表為選配）和閥門 ●通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr ●泄漏率最大6 mtorr/min
輸入電源	AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：最大5KW
真空泵	一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr
配件	●標配的真空配件: 一對不銹鋼密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭 ●一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍 ●可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。（點擊圖片查看詳細介紹）
氣體流量計	● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 ● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. ● 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接，來監測混合氣體的壓力 ● 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
產品尺寸	● 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管 ● 爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H ● 混氣系統：: 600 x 600 x 700mm 真空機組： 600 x 600 x 700mm
凈重	450 lb (總計)
運輸重量	500 lb (總計)
質量認證	CE certified
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。點擊查看售后服務承諾書。

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