● 采用計算機進行控制，允許自行編制程序，進行切割。
● 主軸采用3000轉大扭矩交流無刷電機，通過控制調速旋鈕，使速度在300rpm-3000rpm內可調。
● 旋轉臺可進行手動或自動控制進行水平360°旋轉，轉動公差±0.01°，操作簡單方便。
● 配有8英寸的精密真空吸盤，劃片晶圓直徑可達200mm。切割時使用?220mm載物盤，切割行程可達200mm×200mm。
● 可根據材料的尺寸選用適合的鋸片和夾鋸墊。

● 電源電壓：220V
● 主軸驅動功率：180W
● 主軸轉速：0-3000rpm
● X軸行程：200mm
● Y軸行程：200mm
● Z軸行程：55mm
● 步進電機分辨率：0.0025mm
● 步進電機定位精度：0.01mm
● 可加工劃片最大深度：1.3mm
● 可切割最大深度：10mm（局部可達30mm）
● 工作臺旋轉：360°±0.01°
● 玻璃載物盤：?220mm
● 真空吸盤： ?200mm（8"）
● 鋸片：劃鋸片?86mm×?70mm、切割片?100mm×?12.7mm、?150mm×?12.7mm

55kg

1

全燒結金剛石鋸片（?100mm×?12.7mm×0.33mm）

電鍍金剛石鋸片（?100mm×?12.7mm×0.4mm）

燒結金剛石劃鋸片（?86mm×?70mm×0.15mm）

石蠟棒

● 全燒結金剛石鋸片?100mm×?12.7mm×0.35mm、?76mm×?12.7mm×0.23mm
● 邊緣燒結金剛石鋸片?100mm×?12.7mm×0.4mm、?150mm×?12.7mm×0.5mm
● 燒結金剛石劃鋸片?86mm×?70mm×0.15mm
● 無油真空泵
● 劃鋸片夾鋸墊
● MTI系列加熱平臺

● 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
● 水：設備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及排水
● 電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
● 氣：無
● 工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重50kgs以上
● 通風裝置：需要