應(yīng)用范圍:EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
產(chǎn)品型號(hào) :EQ-TM106
上架時(shí)間 :2019-09-02
EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
性能指標(biāo)和基本配置 | ||||||
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主要特點(diǎn) |
● 本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 |
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EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件 |
● 電源:DC 5V(±10%),最大電流400mA |
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EQ-TM106-2顯示儀 |
● 輸入電源:AC 220V±10% |
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EQ-TM106-3探頭 |
● 適用晶片頻率:6MHz |
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標(biāo)準(zhǔn)配件 |
1EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件1個(gè)2EQ-TM106-2顯示儀1臺(tái)3EQ-TM106-3探頭1個(gè) |
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保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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