應用范圍:OTF-1100X-XX-III是一款通過CE認證的三溫區管式爐,采用8.5英寸或11英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭(安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表)。爐體設計為電動開啟式。三個溫區獨立控制,可設置30段升降溫曲線,帶有超溫和短偶保護,控溫精度為+/- 0.5 oC。此款設備廣泛應用于各種材料在真空或氣氛保護環境下的熱處理。
產品型號:OTF-1100X-XX-III
上架時間 :2019-07-30
安裝尺寸:2210 L x 770W x 1190 H mm
重量:約500 kg
OTF-1100X-XX-III是一款通過CE認證的三溫區管式爐,采用8.5英寸或11英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭(安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表)。爐體設計為電動開啟式。三個溫區獨立控制,可設置30段升降溫曲線,帶有超溫和短偶保護,控溫精度為+/- 0.5 oC。此款設備廣泛應用于各種材料在真空或氣氛保護環境下的熱處理。
性能指標與基本配置 | ||
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名稱 | 1100℃電動開啟式三溫區管式爐(8.5、11英寸石英爐管) | |
設備型號 | OTF-1100X-8.5-III | OTF-1100X-11-III |
高純石英管尺寸 | 216 OD x 206 ID x 1800mm L | 279 OD x 269 ID x 1800mm L |
加熱區 | 1000mm | |
電源 | AC380,50Hz 三相電 功率:20KW | AC380,50Hz 三相電 功率:20KW |
爐體結構 |
● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使表面溫度低于70℃
● 設備中配有2個氧化鋁管堵,設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區和密封圈的密封性)(圖一、二) ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ● 該爐可作為退火或擴散爐,最大可用于8”晶片放在對應石英舟中(圖三) ● 電動開啟式設計,使得用戶操作更加簡便。(圖四) |
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基本參數 |
● 熱偶:K型熱偶
● 建議升溫速率:≤10℃/min ● 溫度:1000℃ (1100℃<1h) ● 電源:AC220,50Hz ● 最大功率:8KW |
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加熱元件 | SiC棒(36根) | |
爐管 |
● 8.5英寸或11英寸高純石英爐管
● 注意:石英爐管易碎,操作需謹慎 ● 為了獲得更高的工作溫度,可選用FeCrAl合金管,溫度可達1200℃ |
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密封法蘭 |
● 一對不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈式),4個硅膠密封圈,可使爐管內真空度達到10^-3torr(采用機械泵抽真空)
● 左端法蘭:安裝有不銹鋼針閥,Φ6.35的進氣口 ● 右端法蘭:KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口(用于熱偶插入到爐管內,測量爐管內溫度和進行溫度校準) |
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溫控系統 | 控溫精度:±0.5℃ | |
溫度校準(可選) |
● 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括
● 1根1200mm的K型鎧裝熱偶 ● 一Omega溫度校準器 ● 4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ● 你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr |
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外形尺寸 | ● 2210 L x 770W x 1190 H mm | |
凈重 | 約500 kg | |
質保期 |
● 一年保修,終身技術支持。
● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 ● 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
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真空系統 |
● 多種真空系統可選
● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
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質量認證 | ● 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 | |
可選 | ● 可與手套箱系統聯用,實現氧敏感性材料的燒結制備 | |
使用注意事項 |
● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當 ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度<1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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