AL2O3+GaN薄膜(N型)
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| 技術參數 | |
|---|---|
| 常規尺寸 |
dia2" |
| 產品定位 | C軸 <0001>+/-1.0 |
| 厚度 |
20um or 30um |
| 傳導類型 |
N型摻Si |
| 電阻率（300K) |
<0.05ohm.cm |
| 位錯密度 |
1000級超凈室、100級超凈袋包裝 |
| 可用表面積 | >90% |
| 標準包裝 | 1000級超凈室，100級超凈袋或單片盒封裝 |
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